Γεννήθηκε το 1722 στο χωριό Κώστος της Πάρου, ένα μικρό παραδοσιακό ορεινό χωριό λίγο πριν τις Λεύκες. Το όνομα του Αγίου ήταν Αθανάσιος Τούλιος. Πάριος ονομάστηκε λόγω της παριανής καταγωγής του. Ο πατέρας ήταν από τη Σίφνο και η μητέρα του ήταν από την Πάρο όπου εκεί ζούσε και η οικογένεια.
Έμαθε τα πρώτα του γράμματα στο νησί του και το 1745 σε ηλικία 23 ετών πήγε στην Σμύρνη της Μικράς Ασίας όπου φοίτησε στην Ευαγγελική Σχολή. Το 1752 πήγε στο Άγιο Όρος στην Σχολή Αθωνιάδος και εκεί ο δάσκαλος του Ευγένιος Βούλγαρης, λόγω της μόρφωσης του, από φοιτητή τον προβίβασε σε καθηγητή και τον προτρέπει να γίνει διάκονος.
Φεύγοντας από το Άγιο Όρος, δίδαξε αρχικά στην σχολή της Θεσσαλονίκης και στη συνέχεια στη σχολή του Μεσολογγίου. Δεν περιοριζόταν όμως μόνο στην διδασκαλία αλλά και σε θρησκευτικά και εθνικά κηρύγματα. Επέστρεψε στο Άγιο Όρος ως διευθυντής όταν ο Βούλγαρης αποχώρησε από τη σχολή, όμως φεύγει ξανά όταν ξεσπά των κίνημα των αντικολυβάδων.
Αντικολυβάδες λέγονταν αυτοί που ήταν κατά της Ορθόδοξης Θεολογίας. Έτσι ο Αθανάσιος διώκεται μαζί με τον Άγιο Νικόδημο τον Αγιορείτη επειδή ήταν κολυβάδες.
Ξεκινάει για το νησί του, όμως ο Ρωσο-Τουρκικός πόλεμος τον εγκλωβίζει στη Χίο. Έμεινε εκεί 19 χρόνια μετατρέποντας την Σχολή της Χίου σε πανεπιστήμιο γράφοντας συγγράμματα, λειτουργώντας και κηρύσσοντας τη χριστιανική διαπαιδαγώγηση. Μέχρι τα 89 έμεινε εκεί διευθύνοντας το πανεπιστήμιο.
Παρόλο όμως την ηγεμονική του θέση, εκείνος ζούσε ασκητικά. Έμενε σε ένα μικρό κελί πάμφτωχος και ρακένδυτος γιατί ότι είχε το μοίραζε στους φτωχούς. Έλεγε πως «είναι αμαρτία στο Θεό να μπει νέος χρόνος και να βρίσκεται στο σακούλι σου έστω και μια πεντάρα από τον παλιό χρόνο».
Πέθανε 24 Ιουνίου 1813 στα Ρεστά της Χίου και περιουσία του ήταν το μοναδικό σκισμένο του ράσο που φορούσε σε όλα τα χρόνια της ζωής του, ελάχιστα βιβλία και ένα λυχνάρι.
Αφιέρωσε όλη τη ζωή του στο έργο της ιεραποστολής διδάσκοντας και νουθετώντας.
Ο βίος του ήταν απλός, ταπεινός, σεμνός και άγιος. Βοήθησε στην ανάδειξη της ορθοδοξίας και θεωρείται ένας από τους πιο μεγάλους θεολόγους συγγραφείς της Ελληνικής Εκκλησίας ενώ υπήρξε μέγας διδάσκαλος του Γένους στην περίοδο της Τουρκοκρατίας. Το 1995 με εισήγηση του τότε Μητροπολίτου Παροναξίας Αμβροσίου, η Ιερά Σύνοδος της Εκκλησίας της Ελλάδος και το Οικουμενικό Πατριαρχείο τον ανακήρυξαν Άγιο.
Η εκκλησία εορτάζει τη μνήμη του 24 Ιουνίου (ημερομηνία του θανάτου του) και στο χωριό του, τον Κώστο της Πάρου, έχει ανεγερθεί προς τιμή του μεγαλοπρεπής ναός καθώς και μνημείο.
Β
Το απολυτίκιον που ψάλλεται για τον άγιο είναι:
«Σοφία κοσμούμενος, παντοδαπεί ευσεβώς, διδάσκαλος ένθεος, της Εκκλησίας Χριστού, και βίου ορθότητος, στήλη λαμπρά ωράθης, Αθανάσιε Πάτερ. Όθεν η νήσος Πάρος, τη ση δόξη καυχάται, και πάντες σου τα θεία, τιμώμεν προτερήματα».